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WD参数在SEM中是什么意思?

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SEM WD参数是工作距离以及从样本图像表面到物镜的距离。
观察透射电子显微镜和光学显微镜之间的微观形态的方法可以通过直接利用样品表面材料的特性来产生显微图像。
扫描电子显微镜的优点是:图2具有大景深,大视场以及可以直接观察多个样本的不规则表面的立体图像。准备三个样品很容易。
当今的扫描电子显微镜配备了X射线能量光谱仪,可以同时观察其微观结构形态和成分组成分析,使其成为当今非常有用的科研仪器。
扩展扫描电子显微镜基于电子和物质之间的相互作用。
通常,扫描电子显微镜使用高度聚焦,高能的电子束扫描样品并激发各种物理信息。
通过信息成像,放大和可视化可以观察到测试样品的表面形貌。
当非常精细的高能入射电子与样品表面碰撞时,激发区会产生二次电子,俄歇电子,特征和连续X射线,反向散射电子,透射电子和可见紫外线。。
同时,它可以产生电子对,网状振动(声子)和电子振动(等离子体)。
从数量上讲,背向反射的弹性电子远大于背向反射的非弹性电子。
反向散射电子的产生范围为100 nm至1 mm。
反射电子性能,二次电子性能和原子序数反射电子束的图像分辨率通常为50-200 nm(对应于电子束点的直径)。
增加原子序数可以改善反射电子的性能。因此,使用背反射电子作为图像信号不仅可以用于分析形貌特征,而且可以显示原子序数对比并定性分析组成。